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三氯氢硅中的B、P杂质如何有效去除,达到B≤0.02PPb,P≤0.2PPb?

项目编号:XP383C955D36388

项目状态:已发布

项目分类: 非金属研发指导

所在地:江苏 / 扬州

需求内容:

    我公司主要生产高纯硅。现生产中面临的问题是三氯氢硅中的B、P杂质如何有效去除,希望能达到B≤0.02PPb,P≤0.2PPb?欢迎专家与我们开展技术合作,细节面议。

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